新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應(yīng)用

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開(kāi)啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)，向罐內(nèi)充注氮?dú)狻Ｒ蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。

氮封裝置的供（泄）氮壓力設(shè)定方便，且可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行；氮?dú)鈮毫υO(shè)定范圍廣，低至0.5Kpa（50mm.w.c）,高至Kpa，比值達(dá)132倍，壓力檢測(cè)膜片有效面積大，設(shè)定彈簧剛度小，動(dòng)作極靈敏。

供氮壓力調(diào)整：在微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值如1Kpa（100mm.w.c）,通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)整螺絲2以改變彈簧3的預(yù)壓縮（拉伸）量來(lái)達(dá)到；

泄氮壓力調(diào)整：在快速泄放閥在的壓力控制器部分，通過(guò)調(diào)整座3，改變彈簧4預(yù)壓縮量達(dá)到。一般為避免氮封裝置啟閉頻繁，泄氮設(shè)定值應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如2Kpa（200mm.w.c），呼吸閥高定值調(diào)整：在上述兩設(shè)定值調(diào)整好后，為避免呼吸閥啟閉頻繁，呼吸閥設(shè)定值應(yīng)大于泄壓設(shè)定值。

新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應(yīng)用

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種超純水用氮封裝置，包括超純水水箱、壓力開(kāi)關(guān)、出水管路、進(jìn)水管路和常態(tài)氮?dú)庋a(bǔ)充管路，所述超純水水箱上安裝有壓力開(kāi)關(guān)、出水管路和進(jìn)水管路，所述壓力開(kāi)關(guān)位于液面上方，所述出水管路和進(jìn)水管路位于液面下方；所述常態(tài)氮?dú)庋a(bǔ)充管路共兩路氣路；所述超純水水箱與液位計(jì)連通，所述液位計(jì)的上半部分與下半部分均與超純水水箱連接；所述液位計(jì)內(nèi)插設(shè)有下端沒(méi)于液面下方的可調(diào)正壓管；所述常態(tài)氮?dú)庋a(bǔ)充管路的一路氣路與超純水水箱連接，與所述超純水水箱連接的常態(tài)氮?dú)庋a(bǔ)充管路的氣路上安裝有快速電磁閥；所述常態(tài)氮?dú)庋a(bǔ)充管路的另一路氣路與可調(diào)正壓管連接，與可調(diào)正壓管連接的所述常態(tài)氮?dú)庋a(bǔ)充管路的氣路上安裝有減壓閥；所述超純水水箱上固定連接安全閥，所述安全閥位于液面上方。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述液位計(jì)上固定連接有一對(duì)連接法蘭，一個(gè)連接法蘭固定安裝于液位計(jì)的上半部分，另一個(gè)連接法蘭固定安裝于液位計(jì)的下半部分，所述超純水水箱的外部與一對(duì)連接法蘭對(duì)應(yīng)的位置處也各自安裝有一個(gè)連接法蘭，所述液

位計(jì)與超純水水箱通過(guò)連接法蘭密封連接。超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。

浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司是一家專(zhuān)門(mén)致力于電子級(jí)納米磨料和拋光液技術(shù)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)的高科技企業(yè)。公司在我國(guó)電子級(jí)納米磨料依賴(lài)進(jìn)口的形勢(shì)下，根據(jù)國(guó)家的戰(zhàn)略部署，在中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所與海寧市人民政府戰(zhàn)略合作協(xié)議框架下成立。目前主要從事電子級(jí)二氧化硅納米磨料和拋光液的技術(shù)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)。

新創(chuàng)納公司建有*電子級(jí)磨料和拋光液生產(chǎn)線，擁有完整的磨料和拋光液制備、檢測(cè)、拋光驗(yàn)證系統(tǒng)，是目前中國(guó)技術(shù)電子級(jí)膠體二氧化硅、藍(lán)寶石拋光液和硅片拋光液供應(yīng)商，產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)能力得到了國(guó)內(nèi)外公司的認(rèn)可。經(jīng)過(guò)一期和二期的建設(shè)，公司現(xiàn)在已經(jīng)具備年產(chǎn)一萬(wàn)多噸的電子級(jí)硅溶膠和拋光液的生產(chǎn)能力，公司研發(fā)和生產(chǎn)的電子級(jí)硅溶膠、藍(lán)寶石拋光液、金屬拋光液、硅片拋光液和碳化硅拋光液已成功應(yīng)用與數(shù)十家電子和光電子行業(yè)的公司，成功替代了相應(yīng)的進(jìn)口產(chǎn)品。

本項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)成員在硅溶膠、包括磨料的制備、硅片拋光液、氧化硅拋光液、相變材料拋光液、金屬拋光液、高純硅溶膠、大粒徑硅溶膠、酸性硅溶膠等。

以新創(chuàng)納公司為依托的納米電子材料和器件工程中心較好地結(jié)合了中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所和嘉興市政府的資源，目前已有較好的研發(fā)平臺(tái)。并且與美國(guó)應(yīng)用材料公司（Applied Materials）建立了聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，共享儀器設(shè)備，共同開(kāi)發(fā)碳化硅(SiC)和大硅片等集成電路拋光液。

新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應(yīng)用超純水設(shè)備

微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如：3Kpa。

泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如：8Kpa。

具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。

氮?dú)?(N2)的純度為99.999％以上。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述快速電磁閥的型號(hào)為dmf-zm-25。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述減壓閥的型號(hào)為133l-dn50。

新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應(yīng)用與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型中通過(guò)液位計(jì)中的水量動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)氮封的液面高度，根據(jù)超純水水箱內(nèi)部液面的高度來(lái)動(dòng)態(tài)控制快速電磁閥和減壓閥向超純水水箱內(nèi)部補(bǔ)充氮?dú)猓_保超純水水箱里面始終充有正壓的氮?dú)狻１緦?shí)用新型中液位計(jì)的直徑小，所以對(duì)壓力反應(yīng)靈敏度高，所以既不會(huì)導(dǎo)致過(guò)量補(bǔ)充氮?dú)猓膊粫?huì)導(dǎo)致超純水溢流；此外本實(shí)用新型的氮封裝置設(shè)備簡(jiǎn)單，安裝簡(jiǎn)單，使用更加方便。

.以上的，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。

微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如：3Kpa。

泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如：8Kpa。

具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。

氮?dú)?(N2)的純度為99.99％。

原水箱→原水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→阻垢劑裝置→保安過(guò)濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透裝置→一級(jí) RO 水箱→二級(jí)高壓泵混→二級(jí)反滲透裝置→二級(jí) RO 水箱→EDI 增壓泵→紫外線殺菌器→EDI 前置過(guò)濾器→EDI 裝置→氮封水箱→TOC 殺菌器→拋光混床→微孔過(guò)濾→用水點(diǎn)

五、新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應(yīng)用安裝注意事項(xiàng)

（1）安裝前，檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng)，對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。

（2）為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作，閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥，閥組安裝方案。

（3閥門(mén)應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法塵連接，要注意同軸度，并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25～55℃的場(chǎng)合使用。